早在(zai)2011年(nian)英(ying)唐(tang)智(zhi)控(kong)子(zi)公司日本英(ying)唐(tang)微(wei)技術有(you)限公司開始研(yan)發(fa)(fa)(fa)用(yong)于HUD和Pico投影儀的(de)(de)MEMS微(wei)振鏡。隨(sui)著(zhu)技術迭代(dai)(dai)，后續開始研(yan)發(fa)(fa)(fa)用(yong)于汽車激光雷(lei)達的(de)(de)MEMS微(wei)振鏡，并在(zai)2020年(nian)成(cheng)功(gong)實現(xian)量產(chan)。為了進一步加大在(zai)車載(zai)激光雷(lei)達領域(yu)的(de)(de)研(yan)發(fa)(fa)(fa)和生產(chan)力度，英(ying)唐(tang)智(zhi)控(kong)于2022年(nian)募集(ji)專(zhuan)項資(zi)金，用(yong)于MEMS微(wei)振鏡產(chan)品的(de)(de)研(yan)發(fa)(fa)(fa)與生產(chan)。此(ci)次新一代(dai)(dai)8毫米(mi)MEMS微(wei)振鏡的(de)(de)發(fa)(fa)(fa)布(bu)推動了英(ying)唐(tang)智(zhi)控(kong)自主(zhu)研(yan)發(fa)(fa)(fa)半導體戰(zhan)(zhan)略布(bu)局的(de)(de)進程，也為未來英(ying)唐(tang)智(zhi)控(kong)（集(ji)團）的(de)(de)戰(zhan)(zhan)略發(fa)(fa)(fa)展增添(tian)動力。

      MEMS微振鏡(jing)(jing)的鏡(jing)(jing)面尺(chi)寸(cun)對(dui)激光(guang)雷(lei)達的測距能(neng)力至關重要，特(te)別是在同軸結構的激光(guang)雷(lei)達中，較(jiao)大(da)尺(chi)寸(cun)的MEMS微振鏡(jing)(jing)能(neng)夠(gou)增(zeng)加出(chu)(chu)光(guang)和收光(guang)量，從而極大(da)地擴展雷(lei)達的掃(sao)描(miao)距離并提升(sheng)其測距能(neng)力。此次(ci)英唐(tang)智控推出(chu)(chu)新一代(dai)產品，相較(jiao)已經發布的1毫(hao)米(mi)、4毫(hao)米(mi)規格，具(ju)備(bei)更大(da)的鏡(jing)(jing)面尺(chi)寸(cun)，適用于長(chang)距車載(zai)激光(guang)雷(lei)達, 擁(yong)有(you)諸多優(you)勢：

•    驅動(dong)電壓小，FOV寬廣

       采用電(dian)(dian)磁驅動，相(xiang)較于(yu)靜電(dian)(dian)驅動、壓電(dian)(dian)驅動等驅動方式而言，電(dian)(dian)磁驅動所需的(de)(de)電(dian)(dian)壓僅3V，可靠性高，并且能實(shi)現更寬廣的(de)(de)FOV（30°x25°）。

•    H/V二維掃描，雙軸(zhou)低串擾

      采用雙軸獨立驅動(dong)的(de)模式(shi)，可進行(xing)二維(wei)掃描(miao)(miao)。其中H軸屬(shu)于諧振式(shi)驅動(dong)，V軸屬(shu)于線性驅動(dong)(光柵掃描(miao)(miao))；兩軸驅動(dong)信(xin)號之間低串擾。

•    高效率&低(di)功(gong)耗并存

      H軸諧振頻率(lv)達(da)800Hz，V軸驅動頻率(lv)為1~100Hz(10Hz)；鏡面鍍(du)金，反射率(lv)達(da)到97%， 可實現更高(gao)水平的成像(xiang)精度和分辨(bian)率(lv)。同時(shi)，該產品(pin)功耗(hao)低至136mW，掃描(miao)更為高(gao)效。

•    體積小重(zhong)量輕，助力激光雷達小型化

    封裝尺寸壓縮至24.8*23.14*7.58（mm），重量(liang)(liang)僅11g。在擺(bai)脫(tuo)傳統體積較大的機械運動裝置的同(tong)時，減少了激光器和探(tan)測器數量(liang)(liang)，整體上(shang)使(shi)激光雷達體積和成本更可控。

•    類(lei)車(che)規級別可靠性

       針對車載溫(wen)(wen)度(du)要求高，以及(ji)鏡面直徑需(xu)求越來越大，懸臂梁結構難以支撐的(de)技(ji)術(shu)難點。英(ying)唐(tang)智控對單一MEMS微(wei)振(zhen)(zhen)鏡進行類車規級別(bie)（低溫(wen)(wen)-40℃，高溫(wen)(wen)105℃）內部可(ke)靠(kao)性驗(yan)(yan)證，佐以10-2000Hz，3.11GRMS，20hrs, 6axis規格的(de)振(zhen)(zhen)動驗(yan)(yan)證。測試結果顯示，英(ying)唐(tang)智控此(ci)前發布的(de)MEMS微(wei)振(zhen)(zhen)鏡產品(pin)在該(gai)級別(bie)要求的(de)溫(wen)(wen)度(du)、濕度(du)、振(zhen)(zhen)動、沖擊(ji)(ji)等(deng)測試中均表現良好，能耐(nai)受該(gai)級別(bie)溫(wen)(wen)度(du)變化(hua)、振(zhen)(zhen)動與沖擊(ji)(ji)，滿足激光雷(lei)達在車載工作環境中的(de)可(ke)靠(kao)性要求。

      在深入了解國內激光雷達客戶需求的(de)(de)基礎(chu)上，結(jie)合英唐智控(kong)數十年(nian)技術沉淀，推(tui)出(chu)了全(quan)新一(yi)代大尺寸MEMS微(wei)振鏡(jing)產(chan)品(pin)，為行(xing)業帶來(lai)更先進的(de)(de)解決(jue)方案。

      英(ying)唐智控的(de)最新(xin)一代MEMS微振鏡產(chan)品(pin)在(zai)繼承前代產(chan)品(pin)可(ke)芯(xin)片(pian)化(hua)、無機械組件和毫米級尺寸等特性的(de)基(ji)礎上，進一步優化(hua)了產(chan)品(pin)的(de)體積和成(cheng)本，并在(zai)可(ke)靠性、量(liang)程等方面實(shi)現了技術的(de)重(zhong)大突破。

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